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在印刷電路板生產(chǎn)中,基板主要起到機(jī)械支撐保護(hù)和電氣互連(絕緣)的作用。氧化鋁陶瓷憑借耐熱性、高機(jī)械強(qiáng)度、耐磨性、耐高溫性、較小的介電損耗,以及光滑表面和低孔隙率,使之成為最受歡迎的基板材料之一。

氧化鋁陶瓷是一種以氧化鋁Al2O3)為主體的陶瓷材料,氧化鋁陶瓷基板也可稱為陶瓷晶片。由于氧化鋁陶瓷的硬脆特性,加上電子封裝技術(shù)向小型化、高密度的方向發(fā)展,對(duì)基板材料的切割要求越來(lái)越高。

隨著激光技術(shù)的發(fā)展,切割氧化鋁陶瓷基板工藝中也出現(xiàn)了激光的身影。與傳統(tǒng)的水刀切割和機(jī)械切割方式相比,激光切割的重要優(yōu)勢(shì)在于避免了制造模具的費(fèi)用和長(zhǎng)周期性,而且效率高,靈活性更好,崩邊小,同一批次加工效果更一致。與此同時(shí),激光切割的非接觸式加工,可避免外部機(jī)械應(yīng)力對(duì)材料的損傷,也解決了傳統(tǒng)切割工藝的硬傷。

納飛光電研發(fā)設(shè)計(jì)的355nm紫外納秒激光器,可對(duì)氧化鋁陶瓷基板進(jìn)行非接觸式“冷”加工。當(dāng)355nm紫外光高度聚焦后作用在基板局部表面時(shí),表面材料迅速吸收熱能促使溫度急劇升高,熔化并汽化,借助輔助氣體吹拂,達(dá)到去除材料表面物質(zhì)的效果,隨后,光路在設(shè)定切割路徑引導(dǎo)下隨時(shí)間推移逐漸形成切縫,繼而形成斷面,最終完成切割。由于355nm紫外光單光子能量高,大多數(shù)材料在355nm波長(zhǎng)處有較高的吸收峰,加上脈寬?。?5ns左右),整個(gè)過(guò)程熱作用小,HAZ范圍小,故被稱為冷加工,從而獲得切割面質(zhì)量更高、良品率高的加工效果。

此外,355nm紫外納秒激光器還具有光束質(zhì)量?jī)?yōu)異(M2<1.2)的特點(diǎn),聚焦性好,聚焦光斑直徑在微米量級(jí),在切割氧化鋁陶瓷基板時(shí),切縫小,更能節(jié)約原材料,進(jìn)一步為企業(yè)降低成本。而且根據(jù)不同的形狀要求,通過(guò)電腦輸出圖后即可進(jìn)行高速切割,提高生產(chǎn)產(chǎn)量。

值得一提的是,355nm紫外納秒激光器對(duì)氧化鋁陶瓷基板后續(xù)的鉆孔工序同樣適用。通過(guò)工藝參數(shù)的設(shè)定,對(duì)基板材料進(jìn)行逐點(diǎn)、逐線和逐層的高可控性加工,可加工不同孔徑的通孔或者盲孔,或是方孔等其他圖形,錐度可控,靈活性強(qiáng)、速度快、精度高、穩(wěn)定性好。

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